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爆料人:中芯國際測試國產 DUV 光刻機,國產 5nm 晶片有望

中芯國際正在測試由上海初創公司宇量昇生產的深紫外線(DUV)光刻機,該設備採用的是浸沒式技術,技術路線類似於 ASML 採用的技術。一直以來,中芯國際高度依賴荷蘭半導體設備大廠 ASML 進口...