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國產 EUV 光源樣機首度公開!零件國產化率達90%,距量產還需3至5年

在國家會展中心(上海)舉行的第二十六屆中國國際工業博覽會中,朗道燧岩首次公開發布一台 EUV 光源系統樣機。 朗道燧岩此次展示的是進度最靠前的國產 EUV 光源樣機。EUV 光源被譽為高端光刻機的「...